3. Rukuk
4. Iktidal
5. Sujud pertama pada rakaat pertama
6. Duduk antara dua sujud
7. Sujud kedua pada rakaat pertama
9. Berdiri, kemudian lakukan rakaat kedua dengan gerakan dan bacaan yang sama seperti rakaat pertama hingga sujud kedua.
10. Duduk dan membaca doa tahiyat akhir
11. Salam
Doa sholat tahajud
Setelah salam atau selesai semua rangkaian sholat, bisa memanjatkan doa. Berikut ini doa Rasulullah yang diriwayatkan oleh Imam al-Bukhari dan Muslim.
Allâhumma rabbanâ lakal hamdu. Anta qayyimus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu anta mâlikus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu anta nûrus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu antal haqq. Wa wa'dukal haqq. Wa liqâ'uka haqq. Wa qauluka haqq. Wal jannatu haqq. Wan nâru haqq. Wan nabiyyûna haqq. Wa Muhammadun shallallâhu alaihi wasallama haqq. Was sâ'atu haqq. Allâhumma laka aslamtu. Wa bika âmantu. Wa 'alaika tawakkaltu. Wa ilaika anabtu. Wa bika khâshamtu. Wa ilaika hâkamtu. Fagfirlî mâ qaddamtu, wa mâ akhkhartu, wa mâ asrartu, wa mâ a'lantu, wa mâ anta a'lamu bihi minnî. Antal muqaddimu wa antal mu'akhkhiru. Lâ ilâha illâ anta. Wa lâ haula, wa lâ quwwata illâ billâh.
Artinya: "Ya Allah, Tuhan kami, segala puji bagi-Mu, Engkau penegak Langit, Bumi, dan makhluk di dalamnya. Segala puji bagi-Mu, Engkau penguasa Langit, Bumi, dan makhluk di dalamnya. Segala puji bagi-Mu, Engkau cahaya Langit, Bumi, dan makhluk di dalamnya. Segala puji bagi-Mu, Engkau Maha Benar. Janji-Mu benar. Pertemuan dengan-Mu kelak itu benar. Firman-Mu benar adanya. Surga itu nyata. Neraka pun demikian. Para nabi itu benar. Demikian pula Nabi Muhammad SAW itu benar. Hari Kiamat itu benar. Ya Tuhanku, hanya kepada-Mu aku berserah. Hanya kepada-Mu juga aku beriman. Kepada-Mu aku pasrah. Hanya kepada-Mu aku kembali. Karena-Mu aku rela bertikai. Hanya pada-Mu dasar putusanku. Karenanya ampuni dosaku yang telah lalu dan yang terkemudian, dosa yang kusembunyikan dan yang kunyatakan, dan dosa lain yang lebih Kau ketahui ketimbang aku. Engkau Yang Maha Terdahulu dan Engkau Yang Maha Terkemudian. Tiada Tuhan selain Engkau. Tiada daya upaya dan kekuatan selain pertolongan Allah."